WDS je analytická technika na určovanie prvkového zloženia skúmanej vzorky pomocou merania charakteristického rtg žiarenia vygenerovaného pri skenovaní elektrónovým zväzkom. Zvyčajne sa využíva na identifikáciu prvkov a kvantitatívne určenie ich koncentrácie, či už v konkrétnom mikro-bode, alebo na zmapovanie celého povrchu vzorky.
